ОТРИМАННЯ ТОНКИХ AL ПЛІВОК ВЕЛИКОГО РОЗМІРУ ЗА ДОПОМОГОЮ ЛАЗЕРНОГО НАПИЛЕННЯ

Автор(и)

  • Олена Байбакова КПІ ім. Ігоря Сікорського, м. Київ, Україна, Україна
  • Руслан Жук КПІ ім. Ігоря Сікорського, м. Київ, Україна, Україна
  • Микола Анякін КПІ ім. Ігоря Сікорського, м. Київ, Україна, Україна

DOI:

https://doi.org/10.20535/2409-7160.2018.XIX.242702

Ключові слова:

лазерне напилення, іонне розпилення, лазерна технологія, надтонкі плівки.

Анотація

Розглянуто метод отримання надтонких плівок великого розміру, які можна використовувати в електроніці, резисторах, мікросхемах та фотошаблонах. Звернута увага на підвищення ефективності та якості обробки. Розглянуто пристрій для безперервної подачі плівки в зону обробки та запропоновані матеріали для обробки. Отримані зразки з тонким нано шаром Si, SiC, та розглянуті їх поверхня та якість обробки. Виділяємо більш продуктивні та дешеві методи отримання зразків.

Посилання

  1. William Sims Bainbridge. Nano convergence: The Unity of Nanoscience, Biotechnology, Information Technology and Cognitive Science, June 27, 2007, Prentice Hall, ISBN 0-13-244643-X
  2. Review of Nanocomposite Thin Films and Coatings Deposited by PVD and CVD Technology, Krzysztof Lukaszkowicz
  3. Laser coating and thermal spraying - process basics and coating properties// P. Vuoristo, 2012

##submission.downloads##

Опубліковано

2018-12-22

Як цитувати

Байбакова, О., Жук, Р., & Анякін, М. (2018). ОТРИМАННЯ ТОНКИХ AL ПЛІВОК ВЕЛИКОГО РОЗМІРУ ЗА ДОПОМОГОЮ ЛАЗЕРНОГО НАПИЛЕННЯ. Матеріали науково-технічної конференції "Прогресивна техніка, технологія та інженерна освіта", (XIX). https://doi.org/10.20535/2409-7160.2018.XIX.242702

Номер

№ XIX (2018): 2018-XIX Прогресивна техніка, технологія та інженерна освіта

Розділ

ПРОГРЕСИВНА ТЕХНІКА І ТЕХНОЛОГІЯ МАШИНОБУДУВАННЯ

Ліцензія

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з такими умовами:

  1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії CC BY 4.0, яка дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.

  2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.

  3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи.